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可以在不吸附圖案表面的情況下進(jìn)行粘貼。
我們提出了一種粘貼方法,可防止因吸附造成的損壞,并考慮到超薄晶圓和 MEMS 等精密晶圓。
不同尺寸的非接觸對(duì)齊
矯正器使用我們獨(dú)創(chuàng)的非接觸式方法。通過(guò)僅在外周吸附幾毫米進(jìn)行對(duì)準(zhǔn),無(wú)需擔(dān)心產(chǎn)品區(qū)域的吸痕、顆粒粘附和邊緣夾緊導(dǎo)致的邊緣崩邊。
非接觸式運(yùn)輸也是可能的。可安裝外周吸力手、伯努利手等各種手。即使對(duì)于有翹曲或撓曲的晶片,我們也會(huì)驗(yàn)證轉(zhuǎn)移方法并提出建議。
粘貼
我們提出了一種獨(dú)特的應(yīng)用程序,該應(yīng)用程序可以最大限度地減少膠帶的消耗,
并抑制由于框架和刀具之間的接觸而在切割框架(膠帶框架)上產(chǎn)生劃痕和金屬粉末的產(chǎn)生。
此外,可選配的真空貼附可實(shí)現(xiàn)對(duì)近年來(lái)在 IGBT 中備受關(guān)注的 TAIKO
晶片等有臺(tái)階和凹凸的晶片進(jìn)行貼合,以及對(duì) MEMS 晶片和薄晶片等易碎晶片進(jìn)行低張力貼合。